摘要：本实用新型公开了一种300mm立式氧化炉硅片传送机械手系统，设有升降装置、取片叉，其特征在于：所述升降装置由丝杠、伺服电机和排气净化装置组成，所述取片叉设有单片叉和5片叉，分别设置在两个机械手臂上，机械手臂与一个多轴机械臂连接，机械臂设置在底座上，该底座固定在所述升降装置的升降臂上；在机械手臂、机械臂上设有伺服电机及■其控制部件，机械手臂、机械臂和升降装置的伺服电机的控制部件与PLC控制器①控制连接。在5片叉上设有片叉间距调节部件。在单片叉↓上还设有FOUP中硅片状态检▲测传感器。本实用新型适用于立式氧化炉的硅片传送，自动『化程度高，控制灵活，适用性广，效率高。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人董金卫;曾艳丽;张芳;赛义德·赛迪;
- 地址100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN200820234111.9
- 申请时间2008年12月31日
- 申请公布号CN201350628Y
- 申请公布时▼间2009年11月25日
- 分类号B25J3/00(2006.01)I;B25J15/00(2006.01)I;B25J18/00(2006.01)I;B25J13/00(2006.01)I;B25J19/02(2006.01)I;
