摘要：本发明涉及一种用湿法处理盘状物的装置及方法，包括用于承载盘状物以及使其旋转的载体，在载体的上方设置有分配器，在载体的外围设有环状液体收集器，载体位于环状液体收集器的环口附近，在环状液体收集器中设有内层、外层和至少一个中间层，内层、外层和至中间层的空间为液体回收腔室，在液体回收腔室的侧壁上设有排气孔，排气孔通过管路与集气腔室相连接，在外层与中间层上分别设有固定段和升降段，中间层的升降段还与升降机构相连接，中间层的升降段的∞上下升降是用于将工艺后的工艺液体回收到不同的回收腔室。本发明通过对液体回收腔室的气、液的分开收☉集来减少气、液混合，避免液体被吸入排气孔。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电№子股份有限公司;
- 发明人张豹;韩雷刚;张晓红;王锐廷;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN200910079703.7
- 申请时间2009年03月06日
- 申请公布号CN101488470B
- 申请公布时间2012年03月07日
- 分类号H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;
