摘要：本发明涉及一种保持盘状物的装置及方法，该装置中的载体上设置有用于轴向固定盘状物的凸出部件，凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间；载体上表面周边设有与气源连接的吹气口，气体通过吹气口吹向盘状物的下表面的外部，该方法中的通过凸出部件使固定后的盘状物下表面与载体上表面四周之间产生空间，该空间用于机械手从盘状物下表面抓取盘状物，通过设置在载体上表面周边的吹气口向盘状物的下表面的外部▓不断吹气，阻止工艺液体流向盘状物的下表面。本发明结≡构简单，操作方便，且在盘状物固定后可以从下面抓取盘状物，减少了对盘状㊣物上表面的污染，并有效的保证盘》状物下表面不被工艺液体腐蚀。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人韩雷刚;张豹;张晓红;王锐廷;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN200910079701.8
- 申请时间2009年03月06日
- 申请公布号CN101494189B
- 申请公布时间2011年01月05日
- 分类号H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;
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