摘要：本发明提供了一种密封结构及半导体设备，该密封结构具有支撑圈和与之相紧密贴合的柔性密封圈；支撑圈的内圈相对于外圈向外倾斜，柔性密封圈紧密贴合与支撑圈向外倾斜的一侧而设置，使得柔性密封圈依附于支撑圈也形成向外倾斜的内圈；柔性密封圈的内圈顶部超出支撑圈的内圈顶部的一端形成活动部；密封物体向密封圈的内圈插入时，从密封圈向外倾斜的一侧向密封圈移动，并且密封物体推着活动部以支撑部的内圈顶部为支点且随着密封物体的移动方向而旋转，使得活动部侧面完全紧密贴合与密封物体表面，从而实现对密封物体的密封。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人董金卫;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201610929334.6
- 申请时间2016年10月31日
- 申请公布号CN106409728A
- 申请公布时间2017年02月15日
- 分类号H01L21/67(2006.01)I;
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