摘要:本发明涉及一种用于夹持盘状物的装置,该装置包括:旋转轴以及与可在旋转轴上旋转,用于固定盘状物的卡盘主体;卡盘主体为至少三个径向分布的辐条状支撑体或为圆盘,其下面设置有卡盘主体挡块,卡盘主体挡块上安装有弹簧;卡盘主体的边缘设置有至少三个夹持元件,用于卡紧盘状物,夹持元件底端设置有夹持元件挡块,夹持元件挡块可插入所述弹簧,挤压弹簧,直至触碰所述卡盘主体挡块;卡盘主体下与每个夹持元件相对位置均设置有驱动部件,用于通过推动或吸引使夹持元件旋转,从而放松或夹紧盘状物。本发明装置结构简单易实现,不易对盘状物造成破坏。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张豹;王锐廷;张晓红;白德海;
- 地址100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN200910087488.5
- 申请时间2009年06月23日
- 申请公布号CN101587851A
- 申请公布时间2009年11月25日
- 分类号H01L21/687(2006.01)I;