摘要：本发明涉及一种用于夹持盘状物的装置，该装置包括：旋转轴以及与可在旋转轴上旋转，用于固定盘状物的卡盘主体；卡盘主体为至少三个径向ξ 分布的辐条状支撑体或为圆盘，其下面设置有卡盘主体挡块，卡盘主体挡块上安装有弹簧；卡盘主体的边缘设置有至少三个夹持元件，用于卡紧盘状物，夹持元件底端设置有夹持元件挡块，夹持元件挡块可插入所述弹簧，挤压弹簧，直至触碰所述卡盘主体挡块；卡盘主体下与每个夹持元件相对位置均◣设置有驱动部件，用于通过推动或吸引使夹持元件旋转，从而放松或夹紧盘状物。本发明装置结构简单易实现，不易对盘状物造成破坏。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张豹;王锐廷;张晓红;白德海;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN200910087488.5
- 申请时间2009年06月23日
- 申请公布号CN101587851B
- 申请公●布时间2010年11月03日
- 分类号H01L21/687(2006.01)I;
