摘要：本发明属于半导体晶片工艺技术领域，公开了一种盘状物夹持装置。本发明所提供的盘状物夹持装置通过设置两组夹持元件组，每组夹持元件组分别□ 包括若干个夹持元件，且每个夹持元件均可以其与卡盘主体的〖连接点为旋转中心在竖直平面旋转，并在每个夹持元件相对的位置设置驱动组件，用于推动或吸引夹持元件以其旋转中心旋转，实现夹持或打开晶片，通过控制驱动组件，使得在晶片清洗过程中两组夹持元件组交替夹持、打开晶片，实现对夹持元件与晶片接触地方的清洗，大大提高了晶片的整体清洗质量。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人刘福生;张豹;王锐廷;吴仪;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201210406346.2
- 申请时间2012年10月23日
- 申请公布号CN102945820B
- 申请公布时间2015年03月18日
- 分类号H01L21/687(2006.01)I;
