摘要：本发明公开了一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层(2.1)，上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层(2.2)。本发明适用于◤立式氧化炉的石英舟的支撑和保温，结构完善，保温效果好，洁净度高，能保证加工质量。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人钟华;董金卫;赵星梅;胡星强;艾伦·埃马米;
- 地址100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN200810241153.X
- 申请时间2008年12月31日
- 申请公布号CN101552198A
- 申请公布▲时间2009年10月07日
- 分类号H01L21/316(2006.01)I;
