摘要：本发明涉及一种硅片Ψ传送装置，其「特征在于：它包括水平驱动机构，垂直驱动机构、旋转驱动机构、机械手叉、预对准机构和控制系统；旋转驱动机构和机械手叉ω在垂直驱动机构的带动下沿竖直方向移动；机械手叉在旋转驱动机构的带动下旋转取片；预对准机构前部设置有一转轴电机带动的转轴，转轴上端◆连接一吸盘，转轴下端与真空泵连通；预对准机构的前端设置有电连接控※制系统的一对水平光电传感器、一对竖直光电传感器和一智能相机。本发明■能够在搬运过程中对硅片上的定位槽进行对准并且读取硅片信息，它可以广泛应用于各类薄型基片的搬运过程中。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京自动化技术研究院;
- 发明人陈百捷;姚广军;刘影;蒋俊海;刘学辉;赵力行;
- 地址100009 北京市西城区鼓楼西大街41号
- 申请号CN201310070583.0
- 申请时间2013年03月06日
- 申请公布号CN103199044B
- 申请公◎布时间2015年06月24日
- 分类号H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
