摘要：本实用新型涉及硅片生产领域，公开了一种传输硅片花篮的90°旋转机构，由旋转单元和由旋转单元支撑的传输单元组成。传输单元包括传输驱动组件、主动轮、从动轮、传送带以及顶面圆盘，硅片花篮放置在顶面圆盘上，由传输驱动组件驱动主动轮和从动轮和传送带移∏动硅片花篮，使硅片花篮进入和离开旋转机构。旋转单元由旋转单元支撑板、旋转圆盘和旋转驱动装置组成，旋转圆盘在旋转单元支撑板的圆孔中平稳的转动带动传输单元及放置在传输单元上的硅片花篮转动，通过传输单元和旋转单元的配合实现传输线上的硅片花篮90°转向。由于旋转圆盘放置在偏心凸轮导向器上旋转，其旋转过程平稳性好，克服现有技术旋转时平衡性差的问题。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人李广旭;张恒峰;王守琛;徐现飞;李补忠;王广明;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201320788382.X
- 申请时间2013年12月03日
- 申请公布号CN203659826U
- 申请公布时间2014年06月18日
- 分类号H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;
