摘要：本实用新型公开了▓一种晶圆状物件的输送系统，涉及半▼导体晶圆制造技术领域，包括至少两个处理单元(1)、机械手(2)，所述机械手(2)，与各㊣处理单元(1)的距离相等，用于将待处理晶圆状物件放置到所述处理单元(1)中，并将处理完毕的晶圆ぷ状物件取出。本实用新型通过使机械手╳与各处理单元的距离相等，依靠两个机械∩手自身旋转和升降实现晶圆状物件存取操作，并可以通过暂存台进行过渡完成一◤次传★片过程，或者采用以带导轨机械手从卡匣区域取片》后直接由通过机械手在导轨上的移动送到处理单元区域，这两种方式运动路径简单，存№取快速可靠，同时与同类型设备相比本实用新型能有效降低所占用的足迹面积。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人高浩;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201120462496.6
- 申请时间2011年11月18日
- 申请公布♂号CN202363437U
- 申请公布时间2012年08月01日
- 分类号H01L21/677(2006.01)I;
