摘要：本发明涉及自动控制的硅片检查系统，包括一操作台，操作台上有取送硅片的机械＠手、硅片盒平台、硅片表面检查机构、载物台、镜头组、抽真空装置，以及控制所述各装置的计算机系统。机械』手包括水平、垂直、旋转三维动作机构，完成在某一高度下与水平运动方向成一角度的直线运动。硅片盒平台包括一曲柄连杆机构，连杆支撑一俯仰摆动的翻转板，翻转板上放置硅片盒。硅片表面检查机构设置有一可进行水平公转、俯仰摆动、自转的真空吸▃盘，吸盘上放置硅片。载物台包括带动上层导轨组和载物平台一起进行粗定位的下层导轨组，上层导轨组再带动载物平台进行精定位，载物台上方设置镜头组。本发明取送观察硅片快捷方便，并且▓各装置可组合应用，也可单独应用。
- 专利类型发明专利
- 申请人陈百捷;北京自动化技术研究院;
- 发明人陈百捷;徐伟新;姚广军;
- 地址100176 北京市亦庄经济开发区大雄郁金香20号楼B-102
- 申请号CN200810227067.3
- 申请时间2008年11月20日
- 申请公布号CN101409245B
- 申请公布时间2011年07月20日
- 分类号H01L21/66(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;
