摘要：本发▽明涉及一种具有俯仰功能的硅片盒平台，其特征在于：它包括两定位轴，所述两定位轴上连接有一护板框架，所述护板框架通过一转轴机构连接一翻转板的底部前端；所述护板框架内的ㄨ两定位轴上连接一固定板，在所述固定板上连接一由驱动装置连接的曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构的输出端通过一转块连接所述翻转板的底部后端，所述翻转板的顶部连接一硅片盒，当所述曲柄连杆机构的曲柄在0～180°范围内往复间歇摆动时，连接所述硅片盒进行仰俯摆动。本发明的核心机构曲柄联杆机构和一转轴机构的设置具有结构简单合理，既能实现自动俯仰，又能实现平稳俯仰，解决了已有技术中存在的难题。
- 专利类型发明专利
- 申请人陈百捷;北京自动化技术研究院;
- 发明人陈百捷;徐伟新;姚广军;
- 地址100176 北京市亦庄经济开发区大雄郁金香20号楼B-102
- 申请号CN200810224697.5
- 申请时间2008年10月24日
- 申请公布号CN101383315B
- 申请公布时间2011年04月27日
- 分类号H01L21/683(2006.01)I;
