摘要：本发明涉及一种晶圆传输机械手测试装置，其特征在于：它包括一支架、一测试手叉、一类晶圆震动◆感应器和控制系统；支架包括一立柱，立柱上横向连接有一上连接杆和一下连接杆，上连⌒接杆上设置一位移传感器，下连接杆上设置一图像传感器，位移传感器和图像传感器分别电连接控制系统；测试手叉包括一片状的手腕，手腕后部设置有若干通透的弧形孔，弧形孔前方的手腕上设置有连接手掌的若干长圆孔，手掌前部底面设置一具有定位标识和标定标识的定位板，手掌的顶面设置【有一圆形凹台；类晶圆震动感应器的中心集成有加速度传感器，类晶圆震动感应器顶面的中心设置有㊣ 一标定物。本发明可以广泛应用于各种传输机械手定位、重复定位精度的测试过程中。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京自动化技术研〒究院;
- 发明人马丽梅;赵力行;李浩林;姚广军;蒋俊海;
- 地址100009 北京市西城区鼓楼西大街41号
- 申请号CN201210539325.8
- 申请时间2012年12月13日
- 申＠ 请公布号CN103033381B
- 申请公布时间2015年07月15日
- 分类号G01M99/00(2011.01)I;
