摘要：本发明涉及一种取送硅片的机械手，它包括水平驱动机构、垂直驱动机构和旋转驱动机构，以及气路系统，垂直驱动机构、旋转驱动机构和机械手在水平驱动机构的带动下，整体水平移动；旋转驱动机构和机械手在垂直驱动机构的带动下沿竖直方向移动；机械手在旋转驱动机构的带动下旋转取片。所述旋转驱动机构为两个，每一旋转驱动机构连接一内臂，两内臂同轴套设，其中内侧的内臂伸出外侧的内臂，各内臂顶部连接叉爪。本发明通过两套旋转机构带动同轴系的两内臂间隔往复取送硅片，使效率提高了一倍。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京自动化技术研究院;
- 发明人陈百捷;徐伟新;姚广军;陆宇清;
- 地址100009 北京市西城区鼓楼西大街41号
- 申请号CN201010511587.4
- 申请时间2010年10月11日
- 申请公布号CN102064127A
- 申请公布时间2011年05月18日
- 分类号H01L21/687(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I;B25J13/00(2006.01)I;B25J19/00(2006.01)I;
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京公网安备◣11010802043465号
