摘要：本发明涉及一种硅片传送装置，其特征在于：它包括水平驱动机构，垂直驱动机构、旋转驱动机构、机械手叉、预对准机构和控制系统；旋转驱动机构和机械手叉在垂直驱动机构的带动下沿竖直方向移动；机械手叉在旋转驱动机构的带动下旋转取片；预对准机构前部设置有一转轴电机带动的转轴，转轴上端连接一吸盘，转轴下端与真空泵连通；预对准机构的前端设置有电连接控制系统的一对水平光电传感器、一对竖直光电传感器和一智能相机。本发明能够在搬运过程中对硅片上的定位槽进行对准并且读取硅片信息，它可以广泛应用于各类薄型基片的搬运过程中。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京自动化技术研究院;
- 发明人陈百捷;姚广军;刘影;蒋俊海;刘学辉;赵力行;
- 地址100009 北京市西城区鼓楼西大街41号
- 申请号CN201310070583.0
- 申请时间2013年03月06日
- 申请公布号CN103199044A
- 申请公布时间2013年07月10日
- 分类号H01L21/677(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
