摘要：本发明涉及一种观察硅片表面的运动支撑机构，其特征在于它包括一竖直设置的、由水平电机通过带动水平旋转的空心支柱，支柱的上下两端△分别伸出有翼耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄电机，曲柄电机的输出轴连接一曲柄盘，曲柄盘偏心处通过一转轴连接一空心联杆，支柱上端伸出的两翼耳间，枢接一吸盘摆柄，吸盘摆柄的前端枢接在联杆的顶部，吸盘摆柄的空腔内设置一自转电机，自转电机输出端连接一吸盘转轴，吸盘转轴伸出吸盘摆柄连接一吸盘，联杆、吸盘摆柄、吸盘转轴和吸盘上设置有相互连通的真空气道。吸盘在机构的各个电机带动下能够自转、公转、俯仰，形成三种复⊙合球面运动，并且解决了俯仰抖╱动和大面积吸附问题，可以广泛得到推广和应用。
- 专利类型发明专利
- 申请人陈百捷;北京自动化技术研究院;
- 发明人陈百捷;徐伟新;姚广军;
- 地址100176北京市亦庄经济开发区大∩雄郁金香20号楼B-102
- 申请号CN200810224698.X
- 申请时间2008年10月24日
- 申请公布号CN100580901C
- 申请公布时间2010年01月13日
- 分类号H01L21/683(2006.01)I;
