摘要：本发明涉及一种取送硅片的机械手，其特征在于：它包括一水平驱动机构，一垂直驱动机构、一旋转驱动机构和安装三个驱动机构的机架；水平驱动机构包括一水平驱动电机，水平驱动电机通过第一传动装置连接一沿两水平光杠水平移动的支架；垂直驱动机构包括一连接在支架上的垂直驱动ξ 电机，垂直驱动电机通过第二传动装置连接一沿两︽垂直光杠上下移动的升降架；旋转驱动机构包括一连接在升降架上的旋转驱动电机，旋转驱动电机通过←第三传动装置连接一主臂，主臂顶部穿出支架顶部连接◣一手爪，手爪上表面设置有吸盘，在主臂的中心和╲手爪上设置有一连通吸盘的真空气道。本发明ㄨ结构简单，体积小，成本低，可以广→泛用于各种硅片的取送搬运过程中。
- 专利类型发明专利
- 申请人陈百捷;北京自动化技术研究院;
- 发明人陈百捷;徐伟新;姚广军;
- 地址100176 北京卐市亦庄经济开发区大雄郁金香20号楼B-102
- 申请号CN200810224701.8
- 申请时间2008年10月24日
- 申请公布号CN101383313B
- 申请公布时◆间2010年06月16日
- 分类号H01L21/677(2006.01)I;B65G47/91(2006.01)I;B25J3/04(2006.01)I;B25J15/06(2006.01)I;
