摘要：本发明涉及一种显微观察移动台，它包♂括机架和光学平台，光学平台上设置下层粗精度导轨组和上层高精度导轨组，粗精度导轨组包括平行滑设在第一、第二导向装置上的第一、第二滑块，连接在第一、第二滑块上且与第一、第二导向装置水平垂直的第三导向装置，第三导向装置上滑设第三滑块，第三滑块上垂向穿设一定位柱，一压杆与第三导向装置平行穿过第三滑块和定位柱，压杆两端的顶部分别设置一压紧部件；高精度导轨组包括设置在定位柱顶部的▂第四滑块，第四滑块顶部设置一运动方向与其垂直的第五滑块，第五∩滑块顶部连接载物台。本发明在粗精度导轨组作用下实现载物台快速粗＠ 定位，在高精度滑轨组作用下实现载物台精确定位，定位准确，节省成本。
- 专利类型发明专利
- 申请人陈百捷;北京自动化技术研究院;
- 发明人陈百捷;徐伟新;姚广军;
- 地址100176北京市亦庄经济◆开发区大雄郁金香20号楼B-102
- 申请号CN200810224699.4
- 申请时间2008年10月24日
- 申请公布号CN100595624C
- 申请公布时间2010年03月24日
- 分类号G02B21/26(2006.01)I;
