摘要：本发明涉及玻璃、塑料和陶瓷基体上制备各类薄膜的技术领域，具体为一种五腔体全自动电子束沉积系统。包括抽气系统和五个腔体，所述五个腔体包「括依次相连通的传输腔I、装载腔I、工艺腔、装载腔II及传输腔II，各腔体均与抽气系统连接。所述装载腔I和装载腔II与工艺腔之间设有真空锁闭系统。所述装载腔I、工艺腔及装载腔II内均设有样品载板。本发明在产量高的同时，节约工艺腔在每次取换样品载板后的抽气时间，让工艺腔的工艺▓过程与装载腔I，装载腔II取放样品载板同时进行，并且除工艺腔门，装载腔I，装载腔II门在洁净间以外其他的部分都可以放到普通环境中，使☆成本更低。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人赵崇凌;赵科新;李士军;洪克超;徐宝利;张健;张冬;王磊;李松;林峰雪;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号
- 申请号CN201310567063.0
- 申请时间2013年11月13日
- 申请公布号CN104630718A
- 申请公布时间2015年05月20日
- 分类号C23C14/30(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;
