摘要：本实用新型公开了一种电子枪坩埚的冷却装置，属于镀膜机的电子枪坩埚用的冷却装置。该装置包括：圆筒状本体，其上端开口，开口内设有容置电子枪坩埚的空间；所述圆筒状本体上设有连通圆筒状本体内外的两个透水孔；所述♀圆筒状本体内沿侧壁设有弧形通道，所述弧形通道的一端口与一个所述透水孔连通；所述弧形通道的另一端口与所述圆筒状本体内底板上设置ㄨ的折弯通道一端连接；所述折弯通道的另一端与∮另一个所述透水孔连通。该冷却装置由于在圆筒状本∩体内的侧壁和底板上均设有冷却用通道，从而在保证对坩＠ 埚的侧壁冷却的同时，对其底部也可以进行充☆分冷却，很好的解决了目前通过外壁上设置水套冷却的电子◆枪坩埚底部冷却不充分问题。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人袁永旭;
- 地址102600 北京︻市大兴区大兴工业开发区前高米店∑盛坊路仪器仪表基地
- 申请号CN201320287125.8
- 申请时间2013年05月23日
- 申请公布号CN203307422U
- 申√请公布时间2013年11月27日
- 分类号C23C14/30(2006.01)I;
