摘要：本实用新型公开了一种电子枪用坩埚换位装置，属于坩埚换位机构。该装置包括：连接坩〖埚的坩埚连接部；传动轴，其顶端与坩埚连接部连接；密封座，套设有所述传动轴外；电机固定座，设置在所述密封座下方，通过支柱与所述密封座固定∴连接；步进电机，设置在所述电机固定座上；轴套，连接所述传动轴与所述步进电机的转轴；光耦板，设置在所述电机固定板上；遮光片，其底端设置在所述轴套上，前︾端设置在所述光耦板内。该装置采用步进电机有利于自动化控制，提高转动精度。用轴■套代替齿轮，消除齿轮的传动空回。光耦板与配合的遮光片，体积小，重量轻，成本低。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人袁永旭;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
- 申请号CN201320287190.0
- 申请时间2013年05月23日
- 申请公布号CN203307423U
- 申请公◎布时间2013年11月27日
- 分类号C23C14/30(2006.01)I;
