摘要：本实用新型公开了一种电子枪坩埚的水冷装置，该水冷装置包括：坩埚、坩埚托、出水口和进水孔；其中，所述坩埚设置在坩埚托上，坩埚与坩埚托之间设成环形水道，所述环形水道沿所述坩埚外壁内设置；所述出水口设置在所述坩埚托的中间部位，与所述环形水道的出水口连通；所述进水孔设置在所述坩埚托的边缘处，与所述环形水道连通。该水冷装置通过将环形水道沿坩埚外壁内设置，并使进水孔设置在所述坩埚托的边缘处，使得进水孔远ㄨ离出水口，从而实现冷却水沿坩埚外壁』循环，避免坩♂埚外壁水冷不充分，易损坏酿成事故的问题。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限▓责任公司;
- 发明人袁永旭;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表】基地
- 申请号CN201320287213.8
- 申请时间2013年05月23日
- 申请公布号CN203307424U
- 申请公布时间2013年11月27日
- 分类号C23C14/30(2006.01)I;
