摘要：本实用新型公开了一种坩埚冷却装置，包括坩埚冷却腔，冷却腔的●下壁设有入水口，冷却腔的上部设有顶盘，顶盘的周边部位设有△通水孔，顶盘的中部设有出←水口，出水口通过中心管穿过冷却腔的下壁与外部↑相通，冷却腔内设有分水盘，分水盘用螺钉固定在冷却腔的下壁上，入水孔与分水盘下腔之间的侧壁开通孔，分水盘的周边部位固定有立板，立板☆的上缘抵在坩锅热源部位的下壁上。水流由入水口流入，再经分水盘下方侧向流动，在缺口Ψ 处流到分水盘上方，经热源侧壁流向上方顶盘的通水孔，经顶盘上方从中心管由出水★口流出，使贴近坩埚加热部分的水流╱持续流动，携带走大量热∞量，从而保证了坩埚体不被破坏。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人袁永旭;刘敏强;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
- 申请号CN201220104435.7
- 申请时间2012年03月19日
- 申请公○布号CN202543304U
- 申请公布时间2012年11月21日
- 分类号C23C14/30(2006.01)I;
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