摘要:本发明公开了一种新型单坩埚e型电子枪的结构,所述e型电子枪的坩埚中心与灯丝中心的位置由灯丝中心与坩埚中心的水平距离l、电子轨迹最高点与极靴上端面的距离h、电子运动轨迹半径R共同决定。采用该结构的电子枪功率高、容量大、性能稳定,提高了电子●枪的蒸发效率,为用户提供更可靠的设备,既提高工作效率也提高收益。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人赵学琴;张勇;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪器仪表基地
- 申请号CN201510092135.X
- 申请时间2015年02月28日
- 申◣请公布号CN104630721A
- 申请公布时间2015年05月20日
- 分类号C23C14/30(2006.01)I;