摘要：本发明公开了一种牵引级复合分子泵，包括：泵壳固定设】在底盘上；主轴座设在底盘上，主轴经主轴座设在底盘上，主轴的顶端设在泵壳内；电机驱动主轴；转子体固〗定设在泵壳内的主轴上，转子体外周上沿轴向固定设置至少一层涡轮动叶片；沿转子体轴向设置至少一层涡轮静叶片，涡轮静叶片通过隔离环固定在泵壳上，涡轮静叶片与转子体外周上设置的涡轮动叶片交替排列；转子体内设有筒式牵引级转子，筒式牵引级转子内设置筒式牵引级ぷ定子，筒式牵引级定子与筒式牵引级转子具有◥配合间隙；筒式牵引级定子与筒式牵引级转子之间◥设有螺旋状导流槽，螺旋状导流槽的出口与主轴座上设置的排气口连接。其抽速大、压缩比高和前级抗压能力较强，是种高性能复合分子Ψ 泵。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人董欣;郁晋军;于天化;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路◢仪器仪表基地
- 申请号CN201310195542.4
- 申请时间2013年05月23日
- 申请公布号CN103244438A
- 申请公布时间2013年08月14日
- 分类号F04D19/04(2006.01)I;F04D29/32(2006.01)I;
