摘要：本实用新型公开了一种高性→能复合分子泵，包括泵壳、转子体、底盘、油池座等，转子体与电机主轴固定连接，该分子泵自进气口至排气口由涡轮叶片级与筒式牵引级串联而成；涡轮叶片级包『括设于转子体上的涡轮动叶片和设于隔离环上的涡轮静叶片；筒式牵引级包括设■于转子体与牵引级定子之间的螺旋导流槽；隔离环和牵引级定子固定于所述泵壳上。可以同时兼备大抽速和高压缩比，并具有较强的前级抗压能力，可获得高真空与超高真空。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京北仪创新真空技术有限责任公司;
- 发明人郁晋军;董欣;于天化;
- 地址102600 北京市大兴区大兴工业开发区前高米店盛坊路仪】器仪表基地
- 申请号CN201220081560.0
- 申请时间2012年03月06日
- 申请公布号CN202531443U
- 申请公布时间2012年11月14日
- 分类号F04D19/04(2006.01)I;F04D29/38(2006.01)I;F04D29/54(2006.01)I;F04D29/00(2006.01)I;
