摘要：本发明涉及干式真空泵，具体涉及一种具有轴端动密封结←构的干式真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿№轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，在主轴和从动轴两端分别¤装配有轴承，所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上∮各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与≡排气口相通。工作时，各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布，提高泵的♂极限压力、缩短抽气◥时间，又可防止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或⊙损坏。
- 专利类型发明专利
- 申请人东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人岳向吉;巴德纯;刘坤;王光玉;张振厚;
- 地址110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
- 申请号CN201010565680.3
- 申请时间2010年11月30日
- 申＠请公布号CN101985939B
- 申请〒公布时间2012年06月27日
- 分类号F04C25/02(2006.01)I;F04C27/00(2006.01)I;
