摘要：一种籽晶传动装置，属于真空设备技术领域。包括籽晶轴、水电连接机构、称重机构、调节平台和支撑机构，所述与调节平台固定支架连接的丝杠丝母结构设置在支撑机构上，丝杠与第二电机输出轴连接，还包括有与丝杠连接的辅助驱动机构，在断电时可进行手动操作。本发明在水电连接机构中，采用了导电滑环及旋转接头并用的结构，实现籽晶杆自转时电、水的连接。在称重机构中采用了膨胀节密封结构，使称重传感器可根据实际样品适当选择量程，使得大气下的称重传感器可精确测量真空内样品的重量。精度调节中采用了双导轨及滑块，使其运动灵活，微分头的使用不但使其操作更加方便且实现了微调，精调。支撑机构采用铝型材机构，可有效的减轻重量，且总体美观。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人王宏宇;郭东民;黄晓霞;张国栋;佟辉;吕琪;王尧;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号
- 申请号CN201010556151.7
- 申请时间2010年11月24日
- 申请公布号CN102477587B
- 申请公布时间2014年04月16日
- 分类号C30B35/00(2006.01)I;
