摘要：本发明公开一种真空泵用屏蔽电机，包括真空泵壳、电机壳、屏蔽罩、端板，所★述屏蔽罩、电机壳、端板焊接△为一个整体，并在内部形成一个密闭腔，电机定子设置在所述密闭腔内，电机转子热胀装配于主动轴上，所述密闭腔与电机转子均处于真空腔内部，但密闭腔与真空环境隔绝，可通过引线孔直∴通大气。本发明具有如下优点：电机转子热装配在真空泵轴上，不存在电机与真空泵主动轴的刚性连接问题，可以避免普通电机的起动冲击。电机整体在真空腔体内部，使真←空泵结构紧凑，并将真空泵主动轴与泵体与电机定子间的→动密封转换为腔体间的静密封，可以避免轴封磨损泄漏问题。电机定子为一体结构，适用于多粉尘等的苛刻工艺环境，如半导体、光伏、制药、冶金等行业。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人张振厚;王光玉;孔祥玲;薛玉茹;
- 地址110197 辽宁省沈阳◥市浑南新区新源街1号
- 申请号CN201010199133.8
- 申请时间2010年06月12日
- 申请公布号CN102280965B
- 申请公布时间2013年07月24日
- 分类号H02K5/12(2006.01)I;H02K9/19(2006.01)I;H02K5/20(2006.01)I;H02K15/00(2006.01)I;H02K15/02(2006.01)I;H02K15/16(2006.01)I;H02K5/24(2006.01)I;
