摘要：本发明涉及将真空环境内的信号引出到大气环境的设备，具体地说是一种运动部件位置的真空信号引出装置，波纹管及法兰依次套设在直杆上，波纹管的一端与直杆相连，另一端与法兰的一端连接，法兰的另一端与真空室密封连接；所述直杆位于法兰以下的部分插入真空室内、且底端设有与运动部件滚动摩擦的触点，直杆靠近顶端的位置上设有通光狭缝，所述光电开关安装在法兰上、位于直杆设有通光狭缝的两侧；在直杆位于真空室内部分的外部套设有与法兰相连的竖直套管，该竖直套管与直杆之间设有限制直杆径向平动自由度的导向铜套。本发明通过刚性传递将机械触点信号从真空环境中引出，并转换成精确的光电信号输出，运动定位精确，信号响应及时。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人佟雷;汪良;孙影;林秀青;佟辉;
- 地址110197 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号
- 申请号CN200910248764.1
- 申请时间2009年12月25日
- 申请公布〖号CN102110544B
- 申请公布时间2013年09月11日
- 分类号H01H33/66(2006.01)I;H01H33/666(2006.01)I;H01H33/664(2006.01)I;
