摘要：一种基于物料供应系统模型的工艺环境压力调节方法，其包括根据物料供应系统特点建立传递函数反应模◢型；将进出舟阶☆段的反应腔室与微环境作为一个整体，形成组合腔室，引入参考输入偏差积分系统，建立增广状态状态方程；获取物料供应系统系统状态反馈控制律；通过物料供应系统的闭环特征方程式求得反馈控制律参数；根据微环境和反应腔室的压差，以及所述反馈控制律参数，对反应腔室与微环︾境作为一个整体进行同㊣ 步调节流量控制机构，实现物料在进出舟阶段的压力稳定。因此，本发明将微环境调节模块接入真空泵环节，把进出舟阶段的反应腔室与微环境作为一个整体进行同步调节，进而通过物料压力环境的闭卐环状态方程，实现物料在进出舟阶段的压力稳定。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人刘建涛;钟结实;王春洪;徐冬;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥↙东路1号
- 申请号CN201410042947.9
- 申请时间2014年01月29日
- 申请公〓布号CN103757610A
- 申请公№布时间2014年04月30日
- 分类号C23C16/52(2006.01)I;
