摘要：本实用新型公开了一种安全性智能控制化学气相沉积CVD装置，包括有氢气发生器电控装置、氢气报警器探头和氢气报警控制器，所述氢气报警控制器与氢气发生器电控装置并联连接；本实用新型设计合理，结构简单，氢气报警控制器会给出一个开关信号切断氢气发生器电控装置的主电路，从而切断气体再生，确保安全性，这样能将发生意外的可能性降低到零，CVD系统可以检测切断保护试验中意外出现的危险，各个检测精度部件可以根据实验需求自由组合，这种组合方式适合各种CVD系统。
- 专利类型实用新型
- 申请人安徽贝意克设备技术有限公司;
- 发明人孔令杰;
- 地址230031 安徽省合肥市庐阳区濉溪路312号
- 申请号CN201320052522.7
- 申请时间2013年01月30日
- 申请公布号CN203034097U
- 申请公布时间2013年07月03日
- 分类号C23C16/52(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I;
