摘要：本发明公开了一种卷对卷连续石墨烯薄膜生长设备及其生长工艺，它包括有机体，工作台两端分别设有真空腔，真空腔室上连接有真空管，真空腔室一侧依次设有射频等离子发生器、加热炉、液氮冷阱；通过在真空腔室内设有卷状铜箔对石墨烯进行卷对卷连续制备大面积、高质量石墨烯的设备。采用该设◥备制备石墨烯，相对于现有方法具有快速、连续的优点，可以进行大面积、高质量石墨烯的规模化生长。
- 专利类型发明专利
- 申请人安徽贝意克设备技术有限公司;
- 发明人孔令杰;吴克松;王钊;
- 地址230088 安徽省●合肥市高新区科学大道110号
- 申请号CN201610076751.0
- 申请时间2016年01月31日
- 申请公布号CN105624640A
- 申请公布时间2016年06月01日
- 分类号C23C16/26(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;C23C16/513(2006.01)I;
