摘要：本发明涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种前开门式类金刚石碳膜沉积装置，包括真空室、门体、阳极靶、阴极靶、驱动机构和抽真空装置；真空室的上盖与真空室的室底相对，真空室的侧壁连接上盖和室底，以形成一腔室；侧壁上开设有一开口；门体与真空室连接，用于盖设于开口；阳极靶和阴极靶设置在真空室的内部，且，阳极靶与阴极靶相对设置，阴极靶位于室底与阳极靶之间；驱动机构穿过室底与阴极靶相连；抽真空装置与真空室连通。本申请在真空室的侧壁上设置门体，在需要清理沉积物垃圾时，打开侧壁上的门体，将真空吸头从真空室的侧壁伸到内部进行清扫，真空吸头不再需要拐弯，易于清理底部的沉积物垃圾，清理彻底，不会污染下一次沉积过程。
- 专利类型发明专利
- 申请人成都西沃克真空科技有限公司;
- 发明人向勇;傅绍英;徐子明;孙力;
- 地址610200 四川省成都市双流县蛟龙工业港（双流园区）东〓海路六段680号
- 申请号CN201610200536.7
- 申请时间2016年03月31日
- 申请公布号CN105671517A
- 申请公布时间2016年06月15日
- 分类号C23C16/26(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;
