摘要：本发明公开了一种自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜的制备方法，包括下述步骤：S1：对金属镍片衬底进行超声清洗，并烘干后放置于管式炉中；S2：向所述管式炉中通入惰性气体；S3：对所⌒述管式炉进行升温处理使其达到600℃?720℃，向所述管式炉中通入氢气，并对所述金属镍片衬底进行热处理；S4：向所述管式炉中通入碳氢化合物，使得经过热处理后的金属镍片衬底催化碳氢化合物裂解后生⊙长非晶碳薄膜；S5：对所述管式炉进行降温处理，并将生长有非晶碳薄膜的镍片浸泡在腐蚀ω 液中腐蚀掉衬底镍片后获得自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜。采用本发明制备方法对环境※温度要求不高，制备得到的非晶碳薄膜具有多孔结构和自支撑结构，可以很方便转移】至任何衬底。
- 专利类型发明专利
- 申请人华中科技大学;
- 发明人魏合林;朱大明;刘宇昊;
- 地址430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 申请号CN201310624301.7
- 申请时间2013年11月28日
- 申请公布号CN103643217B
- 申∑ 请公布时间2016年08月17日
- 分类号C23C16/26(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I;
