摘要:本发明公开了一种可实现连续生长石墨烯装置,它涉及石墨烯技术领域。它包括高温炉、石英腔体、高真空机组、气路系统、液氮冷却箱和滑轨架;所述石英腔体垂直固定在滑轨架中端;所述高温炉和液氮冷却箱分别安装在滑轨架左右两端,两者均与滑轨架上导轨滑动连接,所述高温炉采用立式可对半打开结构。本发明它可实现快速升温和快速冷却的一体化及自动化,解决了石墨烯材料高温处理后的快速冷却;其立式可移动炉体结构使得真空石英腔体更短,结构紧凑,并能实现垂直更换【生长腔体实现连续生长。
- 专利类型发明专利
- 申请人安徽贝意克设备技术有限公司;
- 发明人孔令杰;李晓丽;吴克松;
- 地址230088 安徽省合肥市高新区科】学大道110号
- 申请号CN201510233604.5
- 申请时间2015年05月07日
- 申请公布号CN104860305A
- 申㊣ 请公布时间2015年08月26日
- 分类号C01B31/04(2006.01)I;