摘要：本实用新型公开了一种直接式辉光等效等离子气相沉积装置，包括有设备主体，所述设备主体底端设有电气控制机构，所述设备主体上部一端内设有线圈；本实用新型设计合理，结构简单，这样就解决了传统等离子工作不稳定状态、物料注入难的问题，同时可以在各种气体下实现自动匹配，另外系统的加热部分可以实现智能温度可调，充分满足各种实验需求。
- 专利类型实用新型
- 申请人安徽贝意克设备技术有限公司;
- 发明人孔令杰;
- 地址230031 安徽省合肥市庐阳区濉溪路312号
- 申请号CN201320052532.0
- 申请时间2013年01月30日
- 申请公布号CN203034095U
- 申请公布时间2013年07月03日
- 分类号C23C16/50(2006.01)I;
