摘要：本发明公开了一种带有排气的冷却水供给装置及控制方法，供给装置包括主管路，一端通过总控阀门连接至工厂冷却水供给端，另一端连接一排气支路；主管路并联有若干冷却水输出口，冷却水输出口连接冷却水支路，冷却水支路通过阀门连接至各冷却点的供水管路上；排气支路可作为备用冷却水支路，通过阀门连接至所需冷却点的供水管路上。本发明用于半导体热处理设备的水冷系统，通过控制模块∩执行对各阀门的启闭组合模式，可及时排出管路中累积的空气，有效避免了残留空气对冷却◥水的精确控制造成的不利影响。本装置结↘构简单，控制方法易▓于操作，成本低廉，具备很好的实际推广价值。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张军奎;王丽荣;宋新丰;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201310753017.X
- 申请时间2013年12月31日
- 申←请公布号CN103715066A
- 申请公布时间2014年04月09日
- 分类号H01L21/02(2006.01)I;
