摘要：一种半导体热处理设备超温与断偶报警的处理装置及方法，该◎方法包括：温度监控表根据采集每个温区热电偶采集的温度信息，产生超温热偶的温信号和/或断偶信号：当温度监控表的一个输出端有某一段或多段温区的超温热偶的温信号产生，该温区对应的◤温控表超温报警延时继电器开始计时，同时如果温度监控表的另一输出端在□延时时间周期中，没有断偶信号输出，则使炉体加热继电器得电其常闭触点断开，从而控制加热使能继电器失电而断掉加热，并向PLC发出超温报警信号；若延时时间周期中有断偶信号输出，则断偶∩报警继电器的常闭触点断开，温控表超温报警延时继电器计时复位，并向PLC发出断偶报＠ 警。因此，本发明提高了设备的可靠性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王凯;慕晓航;
- 地址100016 北京市朝阳区▽酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410072702.0
- 申请时间2014年02月28日
- 申请公布号CN103792972B
- 申请公布时间2016年08月17日
- 分类号G05D23/22(2006.01)I;
