摘要：本发明提供一种用于半导体热处理设备的温度控制方法，包括：获取所述半导体热处理设备的控制热偶所测量的温度值；根据所述控制热偶所测量的温度值与所述半导体热处理设备的温度设定值，计算所需加热的功率值；根据所述功率值，对所述半导体热处理设备进行加热。根据本发明，不再采用温度仪表的方式来控制炉体的温度，而是将通过温度采集模块采集到的温度，直接传给计算机，经计算机的内嵌的计算方法，根据炉体实际温度与ㄨ设定温度间的偏差，计算出此时此刻炉体所需的功率值，将计算所得的功率值传给功率输出装置，实时地对炉体进行控制，从而※达到对炉体温度的控制。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人曹志刚;杨海燕;郑建宇;杨浩;李凡;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201310314476.8
- 申请时间2013年07月24日
- 申〗请公布号CN103389752A
- 申请公布时间2013年11月13日
- 分类号G05D23/22(2006.01)I;
