摘要：一种半导体热处理设备超温与断偶报警的处理装置及方法，该方法包括：温度监控表根据采集每个温区热电偶采集的温度信息，产生超温热偶的温信号和/或断偶信号：当温度监控表♂的一个输出端有某一段或多段温区的超温报警信号产生，该温区对应的温控表超⊙温报警延时继电器开始计时，同时如果温度监控表的另一输出端在延时时①间周期中，没有断偶信号输出，则使炉体加热继电器得电其常闭触点断开，从而控制加热使能继电器失电而断掉加热，并向PLC发出超温报警信号；若延时时间周期中有断偶信号输出，则断偶报◤警继电器的常闭触点断开，温控表超温报警延时继电器计时复位，并向PLC发出断偶报警。因此，本发明通过硬件电路的方式【对超温报警断加热，而非通过上位机软ㄨ件或PLC程序处理，提高了设备的可靠性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王凯;慕晓航;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201410072702.0
- 申请时间2014年02月28日
- 申请◣公布号CN103792972A
- 申请公●布时间2014年05月14日
- 分类号G05D23/22(2006.01)I;
