摘要：本实用新型公开了一种具有超声或兆声振荡的二相流雾化清洗装置，在喷嘴主体内沿液体管路内壁表面设置超声波或兆声波发生单元，通过产生超声波或ζ 兆声波振荡，将超声波或兆声波能量传导至流经的清洗液体内，使由液体导向出口喷」出的清洗液体与由气体导向出口喷出的气体在气液导向部件下方相交形成的雾化颗粒具有超声波或兆声波能量，并在雾化颗粒导向出口的加速或垂直导向作用下向下喷向晶圆表面进行超声波或兆声波雾化①清洗，可有效控制对晶圆表面的图形结构造成损伤，提高晶圆表面颗☉粒污染物的去除效率，缩短工艺◆时间，节约清洗药液和高纯气体的使用量，节约生产成本，减少环境影响。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京〖七星华创电子股份有限公司;
- 发明人滕宇;李伟;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 申请号CN201521028786.4
- 申请时间2015年12月10日
- 申请公布号CN205200030U
- 申请公布时↑间2016年05月04日
- 分类号B08B3/02(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B05B17/06(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;
