摘要：本实用新型提供一种防止液体回溅装置，包括用于放置物体的卡盘、与所述卡盘固定连接用于旋转所述卡盘的旋转轴以及环设于所述卡盘周围的侧壁，所述卡盘的旋转用于甩干所述物体上的液体，所述侧壁用于防止从所述物体上甩开的液体飞溅至所述侧壁之外，其中，所述侧壁的内侧设置有一层有机薄膜，通过该有机薄膜增加液体的抗变形能力，从而防止从物体上甩开的液体由侧壁回溅至物体上，克服了对物体的二次污染。
- 专利类型实用新型
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人刘伟;吴仪;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥∩东路1号M2楼2层
- 申请号CN201220394790.2
- 申请时间2012年08月09日
- 申请公布号CN202779106U
- 申请公布时间2013年03月13日
- 分类号B08B13/00(2006.01)I;
