一分快3

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                教育装备采购网首页 > 知识产权 > 专利 > CN102861745B
                
            
                
                
                
                    
                
                        

                        
                        
                    
                
                
                
            
                
        
                
        
                
            
                
                
                防断电保≡护的硅片清洗机
                
                
                
                
                
                    
                　　摘要：本发明公开了一种防断电保护的硅片清洗机，包括：工艺腔室和》位于工艺腔室底部的N2管路，所述N2管路包括：常开N2管路和常闭N2管路，所述常开N2管路与常闭N2管路并联设置，所述常开N2管路上设有常开波纹密封阀，所述常闭N2管路上设有常闭波纹密封阀。本发明提供的防断电保护的硅片清洗机，采用双通道互锁并联设计，当设备主电源发生断电时候，两个互锁的波纹密封阀通过相反控制动作，使N2通路不〓会因为断电而发生中断，保证清洗机环境清洁。
                
                    
                    
                  
                        
                • 专利类型发明专利
                  • 
                        
                • 申请人北京七星华创电子股份有≡限公司;
                  • 
                        
                • 发明人张绍国;何金群;裴立坤;吴仪;王好肖;
                  • 
                        
                • 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东〓路1号M2楼2层
                  • 
                        
                • 申请号CN201210348357.X
                  • 
                        
                • 申请时间2012年09月18日
                  • 
                        
                • 申请公布号CN102861745B
                  • 
                        
                • 申请公布时←间2014年07月30日
                  • 
                        
                • 分类号B08B13/00(2006.01)I;B08B3/00(2006.01)I;
                  •