摘要：本发明公开了一种防断电保护的硅片清洗机，包括：工艺腔室和位于工艺腔室底部的N2管路，所述N2管路包括：常开N2管路和常闭N2管路，所述常开N2管路与常闭N2管路并联设置，所述常开N2管路上设有常开波纹密封阀，所述常闭N2管路上设有常闭波√纹密封阀。本发明提供的防断电保护的硅片清洗机，采△用双通道互锁并联设计，当设备主电源发生断电时候，两个互锁的波纹密封阀▂通过相反控制动作，使N2通路不会因为断电而发生中断，保证清洗机环境清♀洁。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张绍国;何金群;裴立坤;吴仪;王好肖;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥▓东路1号M2楼2层
- 申请号CN201210348357.X
- 申请时间2012年09月18日
- 申请公布号CN102861745A
- 申请公↘布时间2013年01月09日
- 分类号B08B13/00(2006.01)I;B08B3/00(2006.01)I;
