摘要：一种淀积源，所述淀积源包括用来包含淀积材料的至少一个坩锅。本体包括传导通道，传导通道的输入ζ 部联接到坩锅的输出部上。加热器升高坩锅的温度，使得坩锅将淀积材料蒸发到传导通道中。多个喷嘴联接到所述々传导通道的输出部上，使得被蒸发的淀积材料从坩锅通过传导通道运输到多个喷嘴，从而，被蒸发的淀积材料从多个喷嘴排出以形成淀积「通量，多个喷嘴中的至少一个喷嘴包括管子，所述管子定位成靠近传导通道，从而所述管子限制供给到包括①所述管子的喷嘴的淀积材【料的量。
- 专利类型PCT发明
- 申请人维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司;
- 发明人C·康罗伊;S·W·普里迪;J·A·达尔斯特伦;R·布雷斯↓纳汉;D·W·戈特霍德;J·帕特林;
- 地址美国纽约
- 申请号CN201080059907.5
- 申请时间2010年06月17日
- 申请公布号CN102686765A
- 申请公■布时间2012年09月19日
- 分类号C23C14/24(2006.01)I;
