摘要：本发明涉及一种高精度OLED器件的制备装置及制备方法。包括蒸发源阵列、基板、传动装置以及配合蒸发源阵列的掩膜板；所述蒸发源阵列由若干个蒸发源排列而成，蒸发源中的材料垂直向上蒸发至基板上，通过传动装置带动基板或蒸发源阵列的移动，完成基板的蒸镀，进而形成OLED器件。本发◆明加大了基板与掩膜板的距离，减小掩膜板对蒸镀的影响；减小蒸发源与√基板的距离，使得蒸发材料更少地扩散在蒸发环境里，节约了蒸发材料；另外，还减小◥蒸发源间距，减小掩膜板孔隙间距，实现点对点的蒸发，增加单位面积内子像素的个数，实现了高精度OLED器件的制备。
- 专利类型发明专利
- 申请人福州大学;
- 发明人叶芸;郭太良;严群;张永爱;吕珊红;徐中炜;
- 地址350002 福建省福州市鼓楼区工业路523号
- 申请号CN201611137869.6
- 申请时间2016年12月12日
- 申请公布号CN106435483A
- 申请公布时间2017年02月22日
- 分类号C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;
