摘要：本发明公开了一←种多功能真空镀膜机转架，其包括主架体部分、传动部分以及╲工件转动部分，所述主架体部分包括沿上下方向依次平行对置的顶板、上齿轮、下齿轮、支撑单元、外啮合齿和锁定部件，所述上齿轮与所述顶板之间通过多个连接杆连接；所述传动部分包括多个通过轴承与所述顶板及所述上齿轮连※接的传动杆，所述下齿轮还设置有内啮合齿，每个所述传动杆延伸至所述▅上齿轮下方并设置有与所述内啮合齿相啮合的下Ψ 传动齿轮。本发明不仅可实现工件的定点转动，而且可任意→指定靶基距，并保证工件的行♀星转动和自转，还可实现大公转、行星转※动和自转三种转动方式的单独或任意自由搭配使用，可满足真空镀膜机的多种使用目的。
- 专利类型发明专利
- 申请人上海沃家真空设备科技有限公司;
- 发明人林锡强;钟雷;徐路;陈伟;郎文昌;刘伟;
- 地址201600 上海市松江区小昆山镇昆港公路888号4楼
- 申请号CN201310632160.3
- 申请时间2013年12月02日
- 申请公布号CN103590006A
- 申请公◤布时间2014年02月19日
- 分类号C23C14/24(2006.01)I;
