摘要：一种线沉积源，包括多个坩锅，每个坩锅容纳沉积材料。热屏蔽件提供用于所述多个坩锅中的至少一个的」至少局部热隔离。本体包括多个传导槽道。所述多个传导槽道中的每一个的输入与所述多个坩锅中的相应一个的输出连接。加热器升高该多个坩锅的温度，这样，每个坩锅将沉积材料蒸发至该多个传导槽道中。多个喷嘴中的每一个的输入与所述多个传导槽道中的一个的输出连接。蒸发的沉积材料从坩锅通过传导槽道被■输送给喷嘴，在喷嘴处，蒸发的沉积材料从该多个喷嘴排出，以形成沉积流。
- 专利类型发明专利
- 申请人维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司;
- 发明人C·康罗伊;S·W·普里迪;J·A·达尔斯特伦;R·布雷斯纳汉;D·W·戈特霍德;J·帕特林;
- 地址美国纽约
- 申请号CN200910262492.0
- 申请时间2009年12月18日
- 申请公布号CN101845612B
- 申请公布时间2012年04月25日
- 分类号C23C14/26(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;
